口径5インチの高品質SiCウエハの開発に成功
2011年8月26日
No.128
株式会社ブリヂストン（社長 荒川 詔四）は、次世代パワー半導体用途として、口径5インチの高品質SiCウエハ（基板）の開発に成功しました。
SiCウエハは、従来の基板材料であるシリコンウエハに比べ耐久性が高く、高温にも耐えうる優れた特性をもっており、今後は、自動車やエネルギー分野など、幅広い活用が見込まれます。
当社のSiCウエハは、独自の高純度粉体原料と最終製品まで一貫したクリーン製造プロセス技術を特徴としますが、今回新たなシミュレーション技術と温度制御技術を採用することで、高品質と口径拡大の両立に成功しました。
今回開発に成功した口径5インチのSiCウエハは、量産ウエハレベルの高い結晶品質を確保しており、次世代パワー半導体用途としての活用が期待出来るものと考えています。
当社は、市場からのニーズがより高い口径6インチ品についての開発も行っており、2012年下期の製品化を目指して参ります。
なお、当社は、2011年9月11日から米国で開催される「ICSCRM 2011（International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2011）」において、今回開発に成功した5インチのSiCウエハを出展致します。
SiCウエハは、従来の基板材料であるシリコンウエハに比べ耐久性が高く、高温にも耐えうる優れた特性をもっており、今後は、自動車やエネルギー分野など、幅広い活用が見込まれます。
当社のSiCウエハは、独自の高純度粉体原料と最終製品まで一貫したクリーン製造プロセス技術を特徴としますが、今回新たなシミュレーション技術と温度制御技術を採用することで、高品質と口径拡大の両立に成功しました。
今回開発に成功した口径5インチのSiCウエハは、量産ウエハレベルの高い結晶品質を確保しており、次世代パワー半導体用途としての活用が期待出来るものと考えています。
当社は、市場からのニーズがより高い口径6インチ品についての開発も行っており、2012年下期の製品化を目指して参ります。
なお、当社は、2011年9月11日から米国で開催される「ICSCRM 2011（International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2011）」において、今回開発に成功した5インチのSiCウエハを出展致します。
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ブリヂストンが世界共通の環境メッセージとして掲げた「One Team, One Planet」。 その意志は、グローバルに展開する一企業として、またその枠をこえてあらゆる人々と、地球のために、ひとつになること。 未来のすべての子どもたちが「安心」して暮らしていくために。 |
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ブリヂストンが推進する環境経営活動を表すマーク Ecologyの頭文字「e」を環境活動の土台として位置付け、そこから生まれた活動の成果 (芽) を「澄み切った空」や「生い茂る木々」としてシンボライズしています。 |
■2006年11月「中期経営に関する基本的な考え方」発表後の主な対外発表の位置付け
2010年以前の対外発表は除いています。| 最終目標：タイヤ会社・ゴム会社として「名実共に世界一の地位の確立」を目指す |
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本件に関するお問い合わせ先
| ＜報道関係＞広報部 | TEL：03-3563-6811 |
| ＜お客様＞お客様相談室 | TEL：0120-39-2936 |
以上